一、基地简介

2008年10月教育部批准建设薄膜与光学制造技术教育部重点实验室，薄膜与光学制造技术实验室依托于西安工业大学光学工程一级学科和“陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室”。光学工程学科在我校具有50多年的发展历史，是学校最具特色的学科之一，1993年获得硕士研究生培养权，1998年获批为陕西省重点学科。西安工业大学的 “陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室”成立于1999年，薄膜与光学制造技术实验室前身即为陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室。

实验室在长期的发展过程中，围绕光学先进制造技术领域的重要科学技术问题开展应用基础研究，形成了薄膜与等离子体技术、光学制造与检测技术、微光电器件制造技术及应用等三个稳定的研究方向。先后承担了中国人民解放军总装备部、国防科工委、兵器工业集团等国家与行业的重点国防基础科学研究项目；科技部、教育部等国家部委的重点科研项目；陕西省和西安市的自然科学与应用科学研究项目。在光学薄膜技术、等离子体应用技术、光学元件制造与检测技术、微光电器件制造技术等光学先进制造技术领域形成了鲜明的研究特色和技术优势，研究成果先后获得国家科技进步二等奖、国防科技进步二等奖、三等奖、省市科技进步奖等多项奖励。近五年承担的科技经费到款超过2000万元。

二、主任简介

刘卫国，男，教授，博士生导师，1964年11月出生。1985年毕业于西安电子科技大学光电子技术专业，1988年获西安电子科技大学工学硕士学位，1995年获西安交通大学工学博士学位。长期从事光电子技术、电子材料的教学和研究工作， 2001年3月～2003年3月受聘于新加坡南洋理工大学担任助理教授，从事光电子材料的研究与教学工作。作为项目负责人承担过国防“973”、国防先进制造技术、国防预研基金等项目。2002年获国防科技进步三等奖，1999年获国防科技进步二等奖，1999年获教育部科技进步二等奖，1993年获国家科技进步二等奖，1996年入选国家人事部等七部委的“百千万人才工程”库，同年被破格晋升为教授，1997年被陕西省列为有突出贡献的中青年专家，1997年入选陕西省“三五”人才工程第二层次人选，被陕西省委、省政府命名为2003年度有突出贡献专家。先后在电子学报、物理学报、Applied Physics Letters、Solid State Communications 、Thin Solid Films、 Ferroelectrics、 Integrated Ferroelectrics等学术刊物上发表论文70余篇，其中被SCI收录29篇、引用80余次。现为西安电子科技大学、西北工业大学、陕西师范大学博士生导师，中国真空学会常务理事、陕西省真空学会副理事长、陕西省光电子协会副理事长、陕西省光学学会副理事长、陕西省显示技术学会副理事长。

三、研究成果

薄膜与光学制造技术实验室拥有三个研究方向：薄膜与等离子体技术、光学制造与检测技术、微光电器件制造技术及应用。研究内容隶属于光学工程学科的光学先进制造技术领域。三个研究方向的主要研究内容如下：

1、薄膜与等离子体技术研究方向

主要研究内容包括：类金刚石薄膜的制造与应用技术；红外光学薄膜制造技术；抗激光损伤薄膜制造技术；低损耗光学薄膜制造技术；薄膜制造过程中的（等）离子束发生与应用技术；超硬薄膜制造技术等。

2、光学制造与检测技术研究方向

主要研究内容包括：球面、非球面光学表面数控铣磨技术；超光滑光学表面磁流体抛光技术；超光滑表面等离子体抛光技术；球面、非球面光学表面柔性抛光技术；非球面与复杂表面光学元件测试技术；薄膜与光学元件参数的精密测试技术。

3、微光电器件制造技术及应用研究方向

主要研究内容包括：常温热成像材料与器件的微制造、检测、应用技术；多功能传感器集成制造技术；纳米材料与器件；低维聚合物制备与改性； MEMS与MOEMS工艺技术及其在光学元件制造中的应用。